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極智報告|Alexander LOESING:Achieving Very Low Leakage Current on Large GaN-on-Si Epiwafers without Inten

視頻2025-01-10 11:58
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德國ALLOS Semiconductors GmbH市場總監(jiān)Alexander LOESING帶來“無碳摻雜GaN-on-Si大外延片實現(xiàn)低漏電流”報告。 “我們已經(jīng)在(111)硅襯底上通過MOVPE生長了150mm的硅襯底GaN外延片;并且已經(jīng)通過增加GaN厚度到7 ?m能夠顯示有效的隔離。同時,已經(jīng)可以展示進一步提高晶體質量提高隔離效果;在XRD下的FWHM為 330arcsec(002)和420arcsec(102)。最后我們證明了通過優(yōu)化GaN和Si襯底之間核/緩沖層以及GaN層的插入層的
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