中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)40多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運行的中微反應(yīng)臺（包括介質(zhì)刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備不僅已在客戶生產(chǎn)線投入量產(chǎn)，而且已成為在藍光LED市場占有率最大的領(lǐng)先設(shè)備