近日,西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(簡稱“西湖儀器”)產(chǎn)品演示中心建成并投入試運行。
該中心是一個集8英寸碳化硅激光剝離自動化生產(chǎn)線與大尺寸碳化硅襯底加工驗證于一體的綜合平臺,具備前沿技術(shù)與產(chǎn)品的驗證能力,是推動激光剝離技術(shù)從“工藝可行”邁向“量產(chǎn)好用”的關(guān)鍵載體,能夠為客戶提供從工藝導(dǎo)入到量產(chǎn)決策的全方位支持。
作為產(chǎn)品演示中心的核心,8英寸碳化硅激光剝離自動化生產(chǎn)線實現(xiàn)了從“從錠到片”的全流程自動化、無人化操作,是滿足當前市場主流需求、實現(xiàn)降本增效的產(chǎn)業(yè)化利器。該驗證線年產(chǎn)超過20,000片8英寸襯底,模塊化設(shè)計支持產(chǎn)能靈活調(diào)配,能夠為客戶提供多層次全方位的驗證數(shù)據(jù)。
大尺寸碳化硅激光剝離工藝驗證線,主要服務(wù)于12英寸碳化硅襯底的新技術(shù)工藝和產(chǎn)品驗證,具備年產(chǎn)超過10,000片12英寸襯底的處理能力,同時滿足各類非標大尺寸籽晶加工需求。其核心任務(wù)是攻克大尺寸工藝難題、開展技術(shù)前瞻性研發(fā),為下一代大尺寸襯底加工提供技術(shù)儲備與解決方案。
該演示中心不僅是設(shè)備展示窗口,更是面向行業(yè)開放的賦能平臺,可以進行技術(shù)人才培養(yǎng)、產(chǎn)業(yè)生態(tài)驗證和戰(zhàn)略決策支持。
